Чип өндүрүшүндөгү чиптин түшүмү чипке салынган аба бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү жана саны менен тыгыз байланыштуу. Аба агымын жакшы уюштуруу чаң булактарынан пайда болгон бөлүкчөлөрдү таза бөлмөдөн алыс алып, таза бөлмөнүн тазалыгын камсыздай алат. Башкача айтканда, таза бөлмөдө аба агымын уюштуруу чип өндүрүшүнүн түшүмдүүлүгү үчүн маанилүү ролду ойнойт. Таза бөлмөдөгү аба агымын уюштурууну долбоорлоодо жетишүүгө тийиш болгон максаттар: зыяндуу бөлүкчөлөрдүн кармалышын болтурбоо үчүн агым талаасындагы куюндуу агымдарды азайтуу же жок кылуу; кайчылаш булганууну болтурбоо үчүн тиешелүү оң басым градиентти сактоо.
Таза бөлмө принцибине ылайык, бөлүкчөлөргө таасир этүүчү күчтөргө масса күчү, молекулалык күч, бөлүкчөлөрдүн ортосундагы тартылуу, аба агымынын күчү ж.б.
Аба агымынын күчү: аба агымынын бөлүкчөлөрүн алып өтүү үчүн белгилүү бир агымы бар аба агымынын, жылуулук конвекциясынын аба агымынын жана башка аба агымдарынын натыйжасында пайда болгон күчүн билдирет. Таза бөлмө экологиялык технологияларды көзөмөлдөө үчүн аба агымынын күчү эң маанилүү фактор болуп саналат.
Тажрыйбалар аба агымынын кыймылында бөлүкчөлөр аба агымын дээрлик бирдей ылдамдыкта ээрчий турганын көрсөттү. Абадагы бөлүкчөлөрдүн абалы аба агымынын бөлүштүрүлүшү менен аныкталат. Аба агымынын ички бөлүкчөлөргө негизги таасирлери төмөнкүлөрдү камтыйт: аба менен камсыз кылуучу аба агымы (анын ичинде биринчи аба агымы жана экинчи аба агымы), аба агымы жана жылуулук конвекциялык аба агымы, адамдардын басып жүрүшү жана аба агымынын процесстик операциялар жана өнөр жай жабдуулары менен шартталган бөлүкчөлөргө тийгизген таасири. Таза бөлмөлөрдөгү абаны берүүнүн ар кандай ыкмалары, ылдамдык интерфейстери, операторлор жана өндүрүштүк жабдуулар, индукцияланган көрүнүштөр жана башкалар тазалык деңгээлине таасир этүүчү факторлор болуп саналат.
1. Аба берүү ыкмасынын таасири
(1) Аба берүүнүн ылдамдыгы
Бирдиктүү аба агымын камсыз кылуу үчүн бир багыттуу агымдын таза бөлмөсүндө аба берүүнүн ылдамдыгы бирдей болушу керек; аба менен камсыз кылуу бетиндеги өлүк зонасы аз болушу керек; жана hepa чыпкасы ичиндеги басымдын төмөндөшү да бирдей болушу керек.
Аба берүүнүн ылдамдыгы бирдей: башкача айтканда, аба агымынын тегиз эместиги ±20% чегинде көзөмөлдөнөт.
Аба менен камсыз кылуу бетинде азыраак өлүк мейкиндик бар: гепа рамкасынын тегиздик аянтын кыскартуу гана эмес, андан да маанилүүсү, ашыкча кадрды жөнөкөйлөтүү үчүн модулдук FFU колдонуу керек.
Аба агымынын вертикалдуу жана бир багыттуу болушун камсыз кылуу үчүн чыпкадагы басымдын төмөндөшүн тандоо да абдан маанилүү жана чыпкадагы басымдын жоголушу бир тараптуу болбошу керек.
(2) FFU системасы менен октук агым желдеткич системасын салыштыруу
FFU желдеткич жана hepa чыпкасы менен аба менен камсыз кылуу бирдиги болуп саналат. Аба FFUнун борбордон четтөөчү желдеткич тарабынан сорулуп, динамикалык басымды аба өткөргүчүндөгү статикалык басымга айландырат. Гепа фильтринин жардамы менен бир калыпта үйлөтүлөт. шыпка аба менен камсыз кылуу басымы терс басым болуп саналат. Ошентип, чыпканы алмаштырууда чаң таза бөлмөгө агып кетпейт. Тажрыйбалар көрсөткөндөй, FFU системасы абанын чыгышынын бирдейлиги, аба агымынын параллелдүүлүгү жана вентиляциянын эффективдүүлүгүнүн индекси боюнча октук агым желдеткич системасынан жогору турат. Себеби FFU системасынын аба агымынын параллелизми жакшыраак. FFU системасын колдонуу таза бөлмөдө аба агымын уюштурууну жакшыртат.
(3) ФФУнун өздүк түзүмүнүн таасири
FFU негизинен желдеткичтерден, чыпкалардан, аба агымынын багыттоочуларынан жана башка компоненттерден турат. Гепа чыпкасы дизайн талап кылган тазалыкка жетүү үчүн таза бөлмөнүн эң маанилүү кепилдиги болуп саналат. Фильтрдин материалы агым талаасынын бирдейлигине да таасир этет. Чыпкалоочу розеткага орой чыпка материалы же агым плитасы кошулганда, чыгуучу агым талаасын оңой эле бир калыпка келтирүүгө болот.
2. Ар кандай тазалык менен ылдамдык интерфейсинин таасири
Ошол эле таза бөлмөдө, вертикалдуу бир багыттуу агымы бар жумушчу аймак менен иштебеген аймактын ортосунда, гепа кутучасындагы аба ылдамдыгынын айырмасынан улам, интерфейсте аралаш куюн эффектиси пайда болот жана бул интерфейс турбуленттүү болуп калат. аба агымы зонасы. Абанын турбуленттүүлүгүнүн интенсивдүүлүгү өзгөчө күчтүү жана бөлүкчөлөр жабдуулардын машинасынын бетине өтүп, жабдууларды жана пластиналарды булгашы мүмкүн.
3. Кызматкерлерге жана жабдууларга тийгизген таасири
Таза бөлмө бош болгондо, бөлмөдөгү аба агымынын мүнөздөмөлөрү көбүнчө дизайн талаптарына жооп берет. Жабдуулар таза бөлмөгө кирип, адамдар жылып, продукциялар ташылгандан кийин, аба агымын уюштурууда сөзсүз түрдө жабдуулардын машинасынан чыккан курч учтар сыяктуу тоскоолдуктар пайда болот. Бурчтарда же четинде газ бурулуп агымдын аймагын пайда кылат жана ал аймактагы суюктук кирүүчү газ менен оңой алып кетпей, булганууга алып келет.
Мында механикалык жабдуулардын үстү үзгүлтүксүз иштөөдөн улам ысыйт, ал эми температуранын градиенти машинанын жанында кайра агып чыгуу аянтын пайда кылат, бул кайра агып чыгуу зонасында бөлүкчөлөрдүн топтолушун күчөтөт. Ошол эле учурда жогорку температура бөлүкчөлөрдүн оңой чыгып кетишине себеп болот. Кош эффект жалпы тик катмарды күчөтөт. Агым тазалыгын көзөмөлдөө кыйын. Таза бөлмөдөгү операторлордун чаңы бул кайра агылган аймактарда пластинкаларга оңой жабышып калышы мүмкүн.
4. Кайтып келүүчү аба полунун таасири
Полдон өткөн кайтып келген абанын каршылыгы ар кандай болгондо басымдын айырмасы пайда болуп, абанын аз каршылык багытында агып кетишине алып келет жана бир калыпта аба агымы алынбайт. Учурдагы популярдуу дизайн ыкмасы бийик полду колдонуу болуп саналат. Көтөрүлгөн полдун ачылыш катышы 10% болгондо, абанын агымынын ылдамдыгы үй ичиндеги жумушчу бийиктикте бирдей бөлүштүрүлүшү мүмкүн. Мындан тышкары, полдун булганышын азайтуу үчүн тазалоо иштерине катуу көңүл буруу керек.
5. Индукция кубулушу
Индукция деп аталган кубулуш бир калыптагы агымга карама-каршы багытта аба агымын пайда кылуу, бөлмөдө пайда болгон чаңды же чектеш булганган аймактардагы чаңды шамалдын каршы тарабына индукциялоону билдирет, ошону менен чаңдын пластинаны булганышына алып келет. Мүмкүн болгон индукцияланган кубулуштарга төмөнкүлөр кирет:
(1) Сокур табак
Тик бир тараптуу агымы бар таза бөлмөдө, дубалдагы муундарга байланыштуу, негизинен, турбуленттүү агымды жана жергиликтүү кайра агымды пайда кыла турган чоң сокур панелдер бар.
(2) Лампалар
Таза бөлмөдө жарык берүүчү приборлор көбүрөөк таасир этет. Флуоресценттик лампанын ысыгы аба агымынын көтөрүлүшүнө алып келгендиктен, флуоресценттик лампа турбуленттүү аймакка айланбайт. Негизинен таза бөлмөдөгү лампалар аба агымын уюштурууга лампалардын таасирин азайтуу үчүн көз жашы формасында иштелип чыккан.
(3) Дубалдардын ортосундагы боштуктар
Тазалыктын ар кандай талаптары бар бөлүүчү дубалдардын же шыптардын ортосунда боштуктар болгондо, тазалык талаптары төмөн жерлерден чыккан чаңдар жогорку тазалык талаптары коюлган чектеш аймактарга өткөрүлүшү мүмкүн.
(4) Механикалык жабдуулар менен полдун же дубалдын ортосундагы аралык
Механикалык жабдуулар менен полдун же дубалдын ортосундагы боштук анча чоң эмес болсо, кайра көтөрүлүп турбуленттик пайда болот. Ошондуктан, жабдуулар менен дубалдын ортосунда боштук калтырып, жерге тикелей тийбеш үчүн машина платформасын көтөрүңүз.
Посттун убактысы: Ноябрь-02-2023