Чип өндүрүү өнөр жайындагы чиптин чыгышы чипке түшкөн аба бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү жана саны менен тыгыз байланышта. Аба агымын жакшы уюштуруу чаң булактарынан пайда болгон бөлүкчөлөрдү таза бөлмөдөн алыстатып, таза бөлмөнүн тазалыгын камсыздай алат. Башкача айтканда, таза бөлмөдөгү аба агымын уюштуруу чип өндүрүшүнүн чыгышында маанилүү ролду ойнойт. Таза бөлмөдөгү аба агымын уюштурууну долбоорлоодо жетишилүүчү максаттар: зыяндуу бөлүкчөлөрдүн кармалып калышына жол бербөө үчүн агым талаасындагы куюн агымдарын азайтуу же жок кылуу; кайчылаш булгануунун алдын алуу үчүн тиешелүү оң басым градиентин сактоо.
Таза бөлмө принцибине ылайык, бөлүкчөлөргө таасир этүүчү күчтөргө массалык күч, молекулярдык күч, бөлүкчөлөрдүн ортосундагы тартылуу күчү, аба агымынын күчү ж.б. кирет.
Аба агымынын күчү: бул аба агымынын берүү жана кайтаруу, жылуулук конвекциялык аба агымы, жасалма аралаштыруу жана бөлүкчөлөрдү ташуу үчүн белгилүү бир агым ылдамдыгы бар башка аба агымдарынан келип чыккан аба агымынын күчү. Таза бөлмөнүн экологиялык технологиясын башкаруу үчүн аба агымынын күчү эң маанилүү фактор болуп саналат.
Эксперименттер аба агымынын кыймылында бөлүкчөлөр аба агымын дээрлик бирдей ылдамдыкта ээрчий турганын көрсөттү. Абадагы бөлүкчөлөрдүн абалы аба агымынын бөлүштүрүлүшү менен аныкталат. Аба агымынын имараттын ичиндеги бөлүкчөлөргө тийгизген негизги таасири төмөнкүлөрдү камтыйт: аба менен камсыздоочу аба агымы (баштапкы жана экинчилик аба агымын кошо алганда), адамдардын басуусунан улам пайда болгон аба агымы жана жылуулук конвекциялык аба агымы, ошондой эле аба агымынын процесстик операциялардан жана өнөр жай жабдууларынан улам пайда болгон бөлүкчөлөргө тийгизген таасири. Таза бөлмөлөрдөгү ар кандай аба менен камсыздоо ыкмалары, ылдамдык интерфейстери, операторлор жана өнөр жай жабдуулары, индукцияланган кубулуштар ж.б. - мунун баары тазалык деңгээлине таасир этүүчү факторлор.
1. Аба менен камсыздоо ыкмасынын таасири
(1) Аба берүү ылдамдыгы
Бирдей аба агымын камсыз кылуу үчүн, бир багыттуу агым таза бөлмөдөгү аба берүү ылдамдыгы бирдей болушу керек; аба берүү бетиндеги өлүк зона кичинекей болушу керек; жана HEPA чыпкасынын ичиндеги басымдын төмөндөшү да бирдей болушу керек.
Аба берүү ылдамдыгы бирдей: башкача айтканда, аба агымынын бирдей эместиги ±20% чегинде көзөмөлдөнөт.
Аба менен камсыздоо бетинде өлүк мейкиндик азаят: HEPA рамасынын тегиздик аянтын гана азайтпастан, андан да маанилүүсү, ашыкча раманы жөнөкөйлөтүү үчүн модулдук FFU колдонулушу керек.
Аба агымынын вертикалдуу жана бир багыттуу болушун камсыз кылуу үчүн, чыпканын басымдын төмөндөшүн тандоо да абдан маанилүү жана чыпканын ичиндеги басымдын жоголушу бир жактуу болбошу керек.
(2) FFU системасы менен октук агымдуу желдеткич системасын салыштыруу
FFU – желдеткич жана HEPA чыпкасы бар аба менен камсыздоочу блок. Аба FFUнун борбордон тепкич желдеткичи тарабынан сорулуп, аба өткөргүчтөгү динамикалык басымды статикалык басымга айландырат. Ал HEPA чыпкасы менен бирдей үйлөлөт. Шыптагы аба менен камсыздоо басымы терс басым. Ошентип, чыпканы алмаштырганда таза бөлмөгө чаң кирбейт. Эксперименттер көрсөткөндөй, FFU системасы аба чыгуучу бирдейлик, аба агымынын параллелдүүлүгү жана желдетүүнүн натыйжалуулук индекси боюнча октук агым желдеткич системасынан жогору турат. Себеби FFU системасынын аба агымынын параллелдүүлүгү жакшыраак. FFU системасын колдонуу таза бөлмөдөгү аба агымын уюштурууну жакшырта алат.
(3) FFUнун өзүнүн түзүмүнүн таасири
FFU негизинен желдеткичтерден, чыпкалардан, аба агымынын жетектөөчүлөрүнөн жана башка компоненттерден турат. HEPA чыпкасы - бул бөлмөнүн тазалыгын камсыз кылуунун эң маанилүү кепилдиги, ал дизайн тарабынан талап кылынган тазалыкка жетишет. Чыпканын материалы да агым талаасынын бирдейлигине таасир этет. Чыпканын чыгышына орой чыпка материалы же агым пластинасы кошулганда, чыгыш агым талаасын оңой эле бирдей кылууга болот.
2. Ылдамдык интерфейсинин ар кандай тазалык менен таасири
Ошол эле таза бөлмөдө, жумушчу аймак менен иштебеген аймактын ортосунда, вертикалдуу бир багыттуу агым менен, HEPA кутучасындагы аба ылдамдыгынын айырмасынан улам, интерфейсте аралаш куюн эффектиси пайда болот жана бул интерфейс турбуленттүү аба агымынын зонасына айланат. Абанын турбуленттүүлүгүнүн интенсивдүүлүгү өзгөчө күчтүү жана бөлүкчөлөр жабдуулардын бетине өтүп, жабдууларды жана пластиналарды булгашы мүмкүн.
3. Кызматкерлерге жана жабдууларга тийгизген таасири
Таза бөлмө бош болгондо, бөлмөдөгү аба агымынын мүнөздөмөлөрү, жалпысынан, долбоордун талаптарына жооп берет. Жабдуулар таза бөлмөгө киргенден, адамдар кыймылдагандан жана продукциялар ташылгандан кийин, аба агымын уюштурууга сөзсүз түрдө тоскоолдуктар пайда болот, мисалы, жабдуулардын машинасынан чыгып турган курч учтар. Бурчтарда же четтерде газ турбуленттүү агым аймагын түзүү үчүн бурулуп кетет жана аймактагы суюктук кирүүчү газ менен оңой менен алынып кетпейт, ошентип булганууга алып келет.
Ошол эле учурда, механикалык жабдуулардын бети үзгүлтүксүз иштөөдөн улам ысып кетет, ал эми температуранын градиенти машинанын жанында кайра агып жаткан аймакты пайда кылат, бул кайра агып жаткан аймакта бөлүкчөлөрдүн топтолушун көбөйтөт. Ошол эле учурда, жогорку температура бөлүкчөлөрдүн оңой эле чыгып кетишине алып келет. Кош эффект жалпы вертикалдык катмарды күчөтөт. Агымдын тазалыгын көзөмөлдөөнүн кыйынчылыгы. Таза бөлмөдөгү операторлордун чаңы бул кайра агып жаткан аймактардагы пластиналарга оңой эле жабышып калышы мүмкүн.
4. Кайтаруучу аба полунун таасири
Полдон өткөн кайтаруучу абанын каршылыгы башкача болгондо, басым айырмасы пайда болот, бул абанын кичине каршылык багытында агышына алып келет жана бирдей аба агымы алынбайт. Учурдагы популярдуу долбоорлоо ыкмасы - бийик полду колдонуу. Бийик полдун ачылыш катышы 10% болгондо, аба агымынын ылдамдыгы имараттын ичиндеги жумушчу бийиктикте бирдей бөлүштүрүлүшү мүмкүн. Мындан тышкары, полдогу булгануу булагын азайтуу үчүн тазалоо иштерине катуу көңүл буруу керек.
5. Индукция кубулушу
Индукция кубулушу деп аталган нерсе аба агымынын бирдей агымга карама-каршы багытта пайда болушун билдирет, бул бөлмөдө же шамалдын каршы тарабындагы жанаша булганган жерлерде пайда болгон чаңды пайда кылып, ошону менен чаңдын пластинаны булгашына алып келет. Мүмкүн болгон индукцияланган кубулуштарга төмөнкүлөр кирет:
(1) Жалюзи плитасы
Тик бир тараптуу агымы бар таза бөлмөдө, дубалдагы муундардан улам, адатта, турбуленттүү агым жана жергиликтүү тескери агым пайда кыла турган чоң жалюзи панелдер болот.
(2) Лампалар
Таза бөлмөдөгү жарык берүүчү шаймандардын таасири чоңураак болот. Флуоресценттик лампанын ысыгы аба агымынын жогорулашына алып келгендиктен, флуоресценттик лампа турбуленттүү аймакка айланбайт. Адатта, таза бөлмөдөгү лампалар аба агымынын уюштурулушуна лампалардын таасирин азайтуу үчүн тамчы формасында жасалат.
(3) Дубалдардын ортосундагы боштуктар
Бөлүп турган дубалдардын же шыптардын ортосунда ар кандай тазалык талаптары бар боштуктар болгондо, тазалык талаптары төмөн жерлерден чыккан чаң тазалык талаптары жогору болгон коңшу аймактарга өтүшү мүмкүн.
(4) Механикалык жабдуулар менен полдун же дубалдын ортосундагы аралык
Эгерде механикалык жабдуулар менен полдун же дубалдын ортосундагы боштук кичинекей болсо, анда кайра турбуленттүүлүк пайда болот. Ошондуктан, жабдуулар менен дубалдын ортосунда боштук калтырып, жерге түз тийүүдөн качуу үчүн машинанын платформасын көтөрүңүз.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 2-ноябры