IC өндүрүш тармагындагы чиптин кирешелүүлүгү чипке салынган аба бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү жана саны менен тыгыз байланыштуу. Аба агымын жакшы уюштуруу чаң булагы пайда болгон бөлүкчөлөрдү таза бөлмөнүн тазалыгын камсыз кылуу үчүн алып кете алат, башкача айтканда, таза бөлмөдөгү аба агымын уюштуруу IC өндүрүшүнүн түшүмдүүлүгүндө маанилүү роль ойнойт. Таза бөлмөдө аба агымын уюштурууну долбоорлоо төмөнкү максаттарга жетишүү керек: зыяндуу бөлүкчөлөрдүн кармалышына жол бербөө үчүн агым талаасындагы куюлма агымды азайтуу же жок кылуу; кайчылаш булганууну болтурбоо үчүн тиешелүү оң басым градиентти сактоо.
Аба агымынын күчү
Таза бөлмө принцибине ылайык, бөлүкчөлөргө таасир этүүчү күчтөргө масса күчү, молекулалык күч, бөлүкчөлөрдүн ортосундагы тартылуу, аба агымынын күчү ж.б.
Аба агымынын күчү: аба агымынын бөлүкчөлөрүн алып келүү, кайтаруу аба агымы, жылуулук конвекциялык аба агымы, жасалма аралаштыруу жана башка аба агымдарынын белгилүү бир агымы менен шартталган күчүн билдирет. Таза бөлмө чөйрөсүн техникалык көзөмөлдөө үчүн аба агымынын күчү эң маанилүү фактор болуп саналат.
Тажрыйбалар көрсөткөндөй, аба агымынын кыймылында бөлүкчөлөр аба агымынын кыймылын дээрлик бирдей ылдамдыкта ээрчишет. Абадагы бөлүкчөлөрдүн абалы аба агымынын бөлүштүрүлүшү менен аныкталат. Имараттагы бөлүкчөлөргө таасир этүүчү аба агымдарына негизинен төмөнкүлөр кирет: аба менен камсыз кылуучу аба агымы (анын ичинде негизги аба агымы жана экинчи аба агымы), аба агымы жана жылуулук конвекциялык аба агымы, адамдардын басып жүрүшүнөн келип чыккан аба агымы жана процесстин иштешинен жана өнөр жай жабдууларынан келип чыккан аба агымы. Аба менен камсыздоонун ар кандай ыкмалары, ылдамдык интерфейстери, операторлор жана өнөр жай жабдуулары, таза бөлмөлөрдөгү индукцияланган көрүнүштөр тазалыктын деңгээлине таасир этүүчү факторлор болуп саналат.
Аба агымын уюштурууга таасир этүүчү факторлор
1. Аба берүү ыкмасынын таасири
(1). Аба менен камсыз кылуу ылдамдыгы
Бирдиктүү аба агымын камсыз кылуу үчүн бир багыттуу таза бөлмөдө аба берүүнүн ылдамдыгы бирдей болушу керек; аба берүү бетинин өлүк зонасы аз болушу керек; жана ULPAдагы басымдын төмөндөшү да бирдей болушу керек.
Бирдиктүү аба менен камсыз кылуу ылдамдыгы: башкача айтканда, аба агымынын тегиз эместиги ± 20% чегинде көзөмөлдөнөт.
Аба менен камсыз кылуу бетиндеги аз өлүк зонасы: ULPA алкагынын тегиздик аянтын гана азайтпастан, андан да маанилүүсү, ашыкча кадрды жөнөкөйлөтүү үчүн модулдук FFU кабыл алынышы керек.
Вертикалдык бир багыттуу аба агымын камсыз кылуу үчүн чыпкадагы басымдын төмөндөшүн тандоо да абдан маанилүү, бул чыпкадагы басымдын жоголушу четтөө мүмкүн эмес.
(2). FFU системасы менен октук агым желдеткич системасын салыштыруу
FFU желдеткич жана чыпкасы (ULPA) менен аба менен камсыз кылуу бирдиги болуп саналат. Аба FFUнун борбордон четтөөчү желдеткич тарабынан сорулуп алынгандан кийин, динамикалык басым аба өткөргүчүндө статикалык басымга айланат жана ULPA тарабынан бир калыпта үйлөтүлөт. Шыпты аба менен камсыздоо басымы терс басым, ошондуктан чыпка алмаштырылганда чаң таза бөлмөгө агып кетпейт. Эксперименттер FFU системасы аба чыгуучу бирдейлиги, аба агымынын параллелдүүлүгү жана вентиляциянын эффективдүүлүгүнүн индекси боюнча октук агым желдеткич системасынан жогору экендигин көрсөттү. Себеби FFU системасынын аба агымынын параллелизми жакшыраак. FFU системасын колдонуу таза бөлмөдө аба агымын жакшыраак уюштура алат.
(3). ФФУнун өзүнүн структурасынын таасири
FFU негизинен желдеткичтерден, чыпкалардан, аба агымын жетектөөчү аппараттардан жана башка компоненттерден турат. Ультра жогорку эффективдүү чыпка ULPA таза бөлмө дизайндын талап кылынган тазалыгына жетише алабы же жокпу деген эң маанилүү кепилдик болуп саналат. Фильтрдин материалы агым талаасынын бирдейлигине да таасир этет. Фильтр розеткасына одоно фильтр материалы же ламинардуу агым пластинкасы кошулганда, чыгуучу агым талаасын оңой эле бир калыпка келтирүүгө болот.
2. Тазалыктын ар кандай ылдамдык интерфейстеринин таасири
Ошол эле таза бөлмөдө, жумушчу зонасында жана вертикалдуу бир багыттуу агымдын иштебеген зонасында, ULPA чыгуучу жериндеги аба ылдамдыгынын айырмасынан улам, интерфейсте аралаш куюн эффектиси пайда болот жана бул интерфейс абанын турбуленттүүлүгүнүн өзгөчө жогорку интенсивдүүлүгү менен турбуленттүү аба агымынын зонасына айланат. Бөлүкчөлөр жабдуулардын бетине өтүп, жабдууларды жана пластиналарды булгашы мүмкүн.
3. Кызматкерлердин жана жабдуулардын таасири
таза бөлмө бош болгондо, бөлмөдө аба агымынын мүнөздөмөлөрү жалпысынан дизайн талаптарына жооп берет. Жабдуулар таза бөлмөгө киргенден кийин, персоналдын кыймылы жана продукциялары өткөрүлүп берилгенде, аба агымын уюштурууда сөзсүз түрдө тоскоолдуктар болот. Маселен, жабдуулардын чыгып турган бурчтарында же четинде газ турбуленттик зонаны пайда кылуу үчүн башка жакка бурулат, ал эми зонадагы суюктукту газ оңой алып кетпейт, ошентип булганууну пайда кылат. Ошол эле учурда үзгүлтүксүз иштөөдөн улам жабдуулардын үстү ысып, температура градиенти машинанын жанында кайра агып чыгуу зонасын пайда кылат, бул кайра агып чыгуу зонасында бөлүкчөлөрдүн топтолушун күчөтөт. Ошол эле учурда жогорку температура бөлүкчөлөрдүн оңой чыгып кетишине себеп болот. Кош эффект жалпы вертикалдык ламинардык тазалыкты көзөмөлдөө кыйынчылыгын күчөтөт. Таза бөлмөдөгү операторлордун чаңы бул рефлектордук зоналардагы пластинкаларга жабышып калуу оңой.
4. Кайтаруучу аба полунун таасири
Полдон өткөн кайткан абанын каршылыгы ар кандай болгондо, басымдын айырмасы пайда болуп, аба азыраак каршылык багытында агып, бир калыптагы аба агымы алынбайт. Учурдагы популярдуу дизайн ыкмасы бийик кабаттарды колдонуу болуп саналат. Бийик кабаттарды ачуу ылдамдыгы 10% болгондо, бөлмөнүн жумушчу бийиктигинде аба агымынын ылдамдыгы бирдей бөлүштүрүлүшү мүмкүн. Мындан тышкары, полдун булганышын азайтуу үчүн тазалоо иштерине катуу көңүл буруу керек.
5. Индукция кубулушу
Индукция деп аталган кубулуш бир калыпта агымдын карама-каршы багытында аба агымы пайда болуп, бөлмөдө пайда болгон чаң же жанаша булганган аймактагы чаң шамалдан каршы тарапка индукцияланып, чаң чипти булгап калышы мүмкүн деген кубулушту билдирет. Төмөнкүлөр индукциянын мүмкүн болуучу кубулуштары болуп саналат:
(1). Сокур табак
Тик бир багыттуу агымы бар таза бөлмөдө дубалдагы муундарга байланыштуу жалпысынан жергиликтүү кайтаруу агымында турбуленттикти пайда кыла турган чоң сокур плиталар бар.
(2). Лампалар
Таза бөлмөдө жарык берүүчү приборлор көбүрөөк таасир этет. Флуоресценттик лампалардын ысыгы аба агымынын көтөрүлүшүнө алып келгендиктен, флуоресценттик лампалардын астында турбуленттүү аймак болбойт. Жалпысынан алганда, таза бөлмөдөгү лампалар аба агымын уюштурууга лампалардын таасирин азайтуу үчүн көз жашы формасында иштелип чыккан.
(3.) Дубалдардын ортосундагы боштуктар
Тазалыктын ар кандай деңгээлдериндеги тосмолордун ортосунда же тосмолор менен шыптардын ортосунда боштуктар болгондо, тазалык талаптары төмөн аймактан чыккан чаң тазалыктын жогорку талаптары коюлган чектеш аймакка өткөрүлүшү мүмкүн.
(4). Машина менен полдун же дубалдын ортосундагы аралык
Эгерде машина менен полдун же дубалдын ортосундагы боштук өтө аз болсо, анда ал кайра көтөрүлүп турбуленттикке алып келет. Ошондуктан, жабдык менен дубалдын ортосунда боштук калтырып, машина жерге тике тийбеши үчүн аны көтөрүңүз.
Посттун убактысы: 05-февраль 2025-ж