Чиптин түшүмдүүлүгү IC өндүрүү өнөр жайындагы мелдешүү курсу чипке сакталган аба мейкиндигинин көлөмү жана саны менен тыгыз байланышта. Таза бөлмөнүн тазалыгын камсыз кылуу үчүн чаңдын булагы үчүн чаңдын булагы үчүн чаңдын булагы болгон бөлүкчөлөрдү, башкача айтканда, таза бөлмөдөгү аба агымдарынын уюму IC өндүрүштүн түшүмдүүлүгүндө чоң ролду ойнойт. Таза бөлмөдөгү аба агымдарынын уюмунун дизайны төмөнкү максаттарга жетүү керек: зыяндуу бөлүкчөлөрдү сактап калбаш үчүн, агымдагы агымдагы эддди азайтуу же жок кылуу; Айыптын булганышына жол бербөө үчүн ылайыктуу позитивдүү басым градиент сактаңыз.
Аба агымы
Таза бөлмө принциби боюнча, бөлүкчөлөрдүн иш-аракеттери, массалык күчтөр, молекулярдык күч, бөлүкчөлөр, аба кемчилигинин күчөткүсү ж.б. кирет
Көзөмөлдөөчү күч: Жеткирүү, аба агымы, аба агымы, жылыткыч конвекция аба агымын, жасалма аралашма, башка агымдарды жана башка агымдардын белгилүү бир агымынын, бир нече агымдар менен шартталган аба агымынын күчүнө кирет. Таза бөлмөнүн айлана-чөйрөсүн техникалык контролдоо үчүн, аба кемчилиги күчтөрү эң маанилүү фактор.
Эксперименттер аба агымынын кыймылында, бөлүкчөлөр дээрлик бирдей ылдамдыкта учкан кыймылдын жүрүшүн карманганын көрсөттү. Абадагы бөлүкчөлөрдүн абалы аба агымын бөлүштүрүү менен аныкталат. Ички бөлүкчөлөргө таасир эткен аба агымдары төмөнкүлөрдү камтыйт: аба кемелерин камтыйт (баштапкы аба агымы жана экинчисинин жана экинчилик жана экинчисинин жана экинчиси жана экинчиси), адамдар баскан адамдар басуу жана процесстин иштешинен келип чыккан аба агымы менен шартталган аба агымы. Ар кандай аба менен камсыз кылуу ыкмалары, ылдамдык интерфейстри, операторлор жана өнөр жай жабдуулары, таза бөлмөлөрдө кубулуштар тазалык деңгээлине таасир эткен бардык факторлор болуп саналат.
Аба агымын уюштурууга таасир эткен факторлор
1. Аба менен камсыздоо ыкмасынын таасири
(1). Аба менен камсыздоо ылдамдыгы
Бирдиктүү аба агымын камсыз кылуу үчүн, аба менен камсыздоо ылдамдыгы бир жолку таза бөлмөдө бирдей болушу керек; аба менен камсыз кылуу бети өлүк зонасы кичинекей болушу керек; Жана кысымдын улпорундагы тамчы бирдей болушу керек.
Бирдиктүү аба менен камсыз кылуу ылдамдыгы: Башкача айтканда, аба агымынын бирден эмесдиги ± 20% дын ичинде көзөмөлгө алынат.
Авиакомпаниянын бетине азыраак өлүк аймак: Ulpa алкагынын учак аянты азайып кетиши керек, бирок андан да маанилүүсү, ффУ модулдук алкоголдук кадрды жөнөкөйлөтүү үчүн кабыл алуу керек.
Вертикалдуу бириктирүү участогун камсыз кылуу үчүн, чыпканын басымдын төмөндөшүн тандоо, ошондой эле чыпкадагы басымдын жоголушун талап кылат, бирок чыпкадагы басымдын жоголушун талап кылат.
(2). FFU тутумунун жана окуучу агымынын күйөрмандын тутумун салыштыруу
FFU - бул күйөрман жана чыпка (Ulpa) бар аба менен камсыз кылуу бирдиги. ФФУ центрифугалык күйөрманы тарабынан соруп, динамикалык басым аба түтүкчөсүндөгү статикалык басымга айландырылат жана улпа менен бир калыпка айланат. Шыпка аба менен камсыз кылуу терс басым - бул чаң алмаштырылганда, чаңды таза бөлмөгө агып кетпеши үчүн терс басым жасалат. Эксперименттер FFU тутуму аба розеткасынын бир түрдүүлүгү, аба кемелери параллелизм жана желдетүү натыйжалуулугунун индекси жагынан, аба агымынын бирдиктүүлүгү, аба кемелеринин акцисттик агымынын түзүлүшүнөн жогору экендигин көрсөттү. Себеби FFU тутумунун аба агымы параллелизм жакшыраак. FFU тутумун колдонуу таза бөлмөдөгү аба агымын жакшыраак уюштурса болот.
(3). ФФУнун өз структурасынын таасири
FFU негизинен күйөрмандар, чыпкалар, аба кемелери боюнча колдонмо шаймандары жана башка компоненттеринен турат. Ультра жогорку натыйжалуулук чыпкасы Улпа - бул таза бөлмөнүн дизайндын керектүү тазалыгына жетише турган эң маанилүү кепилдик болуп саналат. Чыпка материалы агым талаасынын бир түрдүүлүгүнө да таасирин тийгизет. Чыпка бир розеткада ири чыпка материалы же ламинардык агымдар кошулган кезде, түтүктүн агымы оңой эле бирдиктүү түрдө бирдиктүү түрдө бирдиктүү түрдө бирдиктүү түрдө бирдиктүү түрдө бирдиктүү түрдө бирдей болушу мүмкүн.
2. Тазалыктын ар кандай ылдамдыктарын ар кандай ылдамдыктагы интерфейстин таасири
Ушул эле таза бөлмөдө, вертикалдуу бир тараптуу эмес аянтча, Ulpa соода түйүнүнүн айырмачылыгына байланыштуу вертикалдуу бир тараптуу аянтчанын ортосунда, аралаш ворттук таасир эффект интерфейсте түзүлөт, ал эми бул интерфейс турбулукка айланат Аба агымынын аймагы өзгөчө аба толкундарынын көтөрүлүшү менен. Бөлүкчөлөр жабдуулардын бетине өткөрүлүп, жабдууларды жана вафилдерди булгашы мүмкүн.
3. Персоналдын жана жабдуулардын таасири
Таза бөлмө бош болгондо, бөлмөдөгү аба агымынын мүнөздөмөлөрү, жалпысынан дизайн талаптарын канааттандырат. Жабдуулар таза бөлмөгө киргенден кийин, кадрлардын көчүшү жана өнүмдөр жугат, албетте, аба агымынын агымына тоскоолдук болот. Мисалы, жабдыктардын чочколорунун же четинде газдын чегерүүлөрүндө, дөбөлүү зонаны түзүүгө багытталат, ошондо зонадагы суюктук газ менен оңой эле алып кетпейт, ошондо булганышын жаратат. Ошол эле учурда, жабдуулардын бети үзгүлтүксүз иштөөгө байланыштуу ысып кетишет, температура градиенти, ал эми справка алкагынын топтолушун көбөйтүүгө алып келет, ал бөлүкчөлөрдүн топтолушун жогорулатат. Ошол эле учурда, жогорку температура бөлүкчөлөрдү оңой эле алып кетишине алып келет. Дудук эффект жалпы вертикалдуу ламинардык тазалыкты контролдоо кыйынга турат. Таза бөлмөдөгү операторлордун чаңы ушул роллонун зоналарындагы вафликтерге кармануу оңой.
4. Кайра кайтаруу полунун таасири
Полдон өтүп кеткендигин каршылык көрсөтүү ар кандай болсо, басымдын айырмачылыгы аз каршылык көрсөтпөсүн жана бирдиктүү аба агымы алынбайт. Учурдагы популярдуу дизайн ыкмасы - бийик кабаттарды колдонуу. Бөлмөдө көтөрүлгөн полдун ачылышы 10% ды 10% түзөт, бөлмөдөгү аба агымы Мындан тышкары, полдун булганышын азайтуу үчүн, тазалоо иштерине көңүл буруу керек.
5. Индукция феномен
Андыктан индукция феноменинин айтымында, бирдиктүү агымдын карама-каршы багыттагы участоктун карама-каршы багытта жайгашкан, ал эми бөлмөдө же чектеш булганган аймакка пайда болгон чаңдын чаңы, чаңга айланат чипти булгашы мүмкүн. Төмөнкүлөр мүмкүн болуучу пайда болуу кубулушу:
(1). Сокур табак
Таза бөлмөдө вертикалдуу бир тараптуу агымы менен, дубалга муундардын муундарына байланыштуу, жалпысынан жергиликтүү кайтып келишкен агымдын айланасындагы толкунданган сокурлар бар.
(2). Чырактар
Таза бөлмөдөгү жарык берүүчү шаймандар көбүрөөк таасир этет. Флуоресценттүү чырактарынын ысыгы аба агымы көтөрүлүшүнө алып келгенден кийин, флуоресценттик лампалар астында оорулуу аймак болбойт. Жалпысынан, таза бөлмөдөгү чырактар чырактардын аба агымдарынын уюмуна тийгизген таасирин азайтуу үчүн, көз каранды калыпта иштелип чыккан.
(3.) Дубалдардын ортосундагы боштук
Ар кандай тазалык деңгээли же бөлүктөрү бар бөлүктөрдүн ортосундагы боштуктар бар болсо, тазалыктын талаптары төмөн, тазалык талаптары төмөн болгон аймактын ортосунда чаңдын ортосунда чаңдын чаңы таза тазалык талаптары бар чектеш аймакка өткөрүлүп берилет.
(4). Машина менен полдун же дубалдын ортосундагы аралык
Эгерде машина менен полдун же дубалдын ортосундагы ажырым кичинекей болсо, анда ал толуктоолорду жаратат. Ошондуктан, жабдуулар менен дубалдын ортосундагы ажырымды таштап, машинаны түздөн-түз жерге киргизбөө үчүн, машинаны көтөрүңүз.
Пост убактысы: Фев-05-2025