Айлана-чөйрөнү коргоого, айрыкча тумандуу аба ырайынын күчөшүнө байланыштуу, барган сайын көбүрөөк көңүл бурулууда. Таза бөлмө инженериясы - айлана-чөйрөнү коргоо чараларынын бири. Айлана-чөйрөнү коргоодо жакшы иш жасоо үчүн таза бөлмө инженериясын кантип колдонсо болот? Келгиле, таза бөлмө инженериясындагы көзөмөл жөнүндө сүйлөшөлү.
Таза бөлмөдө температураны жана нымдуулукту көзөмөлдөө
Таза мейкиндиктердин температурасы жана нымдуулугу негизинен процесстин талаптарына жараша аныкталат, бирок процесстин талаптарын аткарууда адамдын ыңгайлуулугу эске алынышы керек. Абанын тазалыгына коюлган талаптардын жакшырышы менен процесстин жүрүшүндө температурага жана нымдуулукка коюлган талаптардын катаалдашуу тенденциясы байкалууда.
Жалпы принцип катары, иштетүүнүн тактыгынын жогорулашынан улам, температуранын өзгөрүшүнүн диапазонуна коюлган талаптар барган сайын кичирейип баратат. Мисалы, ири масштабдуу интегралдык микросхемаларды өндүрүүнүн литография жана экспозиция процессинде маска материалдары катары колдонулган айнек жана кремний пластиналарынын ортосундагы жылуулук кеңейүү коэффициентинин айырмасы барган сайын азайып баратат.
Диаметри 100 мкм болгон кремний пластинасы температура 1 градуска көтөрүлгөндө 0,24 мкм сызыктуу кеңейүүгө алып келет. Ошондуктан, ± 0,1 ℃ туруктуу температура зарыл жана нымдуулуктун мааниси жалпысынан төмөн, анткени тердегенден кийин продукт булганат, айрыкча натрийден корккон жарым өткөргүч цехтерде. Мындай цех 25 ℃ ашпашы керек.
Ашыкча нымдуулук көбүрөөк көйгөйлөрдү жаратат. Салыштырмалуу нымдуулук 55% ашканда, муздатуучу суу түтүгүнүн дубалында конденсация пайда болот. Эгерде ал тактыктагы түзмөктөрдө же схемаларда пайда болсо, ар кандай кырсыктарга алып келиши мүмкүн. Салыштырмалуу нымдуулук 50% болгондо, дат басып кетүү оңой. Мындан тышкары, нымдуулук өтө жогору болгондо, кремний пластинасынын бетине жабышкан чаң абадагы суу молекулалары аркылуу химиялык жол менен бетке сиңип калат, аны алып салуу кыйын.
Салыштырмалуу нымдуулук канчалык жогору болсо, адгезияны кетирүү ошончолук кыйын болот. Бирок, салыштырмалуу нымдуулук 30% дан төмөн болгондо, бөлүкчөлөр электростатикалык күчтүн таасиринен улам бетке оңой адсорбцияланат жана көп сандаган жарым өткөргүч түзүлүштөр бузулууга жакын. Кремний пластинасын өндүрүү үчүн оптималдуу температура диапазону 35-45% түзөт.
Абанын басымыбашкаруутаза бөлмөдө
Көпчүлүк таза мейкиндиктер үчүн тышкы булгануунун кирип кетишине жол бербөө үчүн, ички басымды (статикалык басымды) тышкы басымдан (статикалык басым) жогору кармоо зарыл. Басым айырмасын сактоо, жалпысынан, төмөнкү принциптерге ылайык келиши керек:
1. Таза мейкиндиктердеги басым таза эмес мейкиндиктерге караганда жогору болушу керек.
2. Тазалык деңгээли жогору болгон жайлардагы басым тазалык деңгээли төмөн коңшулаш жайлардагы басымдан жогору болушу керек.
3. Таза бөлмөлөрдүн ортосундагы эшиктер тазалык деңгээли жогору бөлмөлөргө ачылышы керек.
Басым айырмасын сактоо таза абанын көлөмүнө көз каранды, ал басым айырмасынын астындагы боштуктан абанын агып чыгышын компенсациялай алышы керек. Демек, басым айырмасынын физикалык мааниси таза бөлмөдөгү ар кандай боштуктар аркылуу аба агымынын агып чыгышына (же инфильтрациясына) каршылыгы болуп саналат.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 21-июлу