Айлана-чөйрөнү коргоо, айрыкча, туман аба ырайынын көбөйүшү менен көбүрөөк көңүл бурулат. Бөлмө инженериясы - бул айлана-чөйрөнү коргоо боюнча иш-чаралардын бири. Курчап турган чөйрөнү коргоодо жакшы жумуш жасоо үчүн таза бөлмөнү кантип колдонсо болот? Таза бөлмөнүн инженериясында контроль жөнүндө сүйлөшөлү.
Таза бөлмөдөгү температура жана нымдуулук көзөмөл
Таза мейкиндиктердин температурасы жана нымдуулугу негизинен процесстин талаптары боюнча аныкталат, бирок процесстин талаптарын канааттандыруу, адам жайлуулукка ээ болгондо, адам жайлуулугу эске алынышы керек. Абанын тазалыгы талаптарын өркүндөтүү менен, процессте температурага жана нымдуулук үчүн талаптардын катаал талаптарынын тенденциясы байкалууда.
Иштеп жаткан иш-чараны көбөйтүүгө байланыштуу жалпы принцип катары, температуранын өзгөрүүсү үчүн талаптар кичирээк жана кичине болуп баратат. Мисалы, литрография жана экспозициянын экспозициянын эксплуатациялык процесстин эксплуатациялык өндүрүшүн масштабдуу жана кремикалык экспансиялык коэффициенти, маска материалдары катары колдонулган айнек жана кремикалык жайылуу коэффициенти барган сайын кичинекей болуп жатат.
Силикон диаметри 100 μ м менен диаметри 100 градустан 0,24 μ м температура жогорулаганда 0,24 μ м. Демек, ± 0,1 ℃ 0,1 ℃ температурасы зарыл, ал эми нымдуулуктун мааниси аз, анткени тердөө аз калган, айрыкча натрийден корккон жарым өткөргүч семинарларында, продукт булганат. Семинардын бул түрү 25 ℃ден ашпашы керек.
Ашыкча нымдуулук дагы көйгөйлөрдү жаратат. Салыштырмалуу нымдуулук 55% ашканда, суу түтүкчөсүнүн дубалында конденсация пайда болот. Эгерде ал тактык түзмөктөрдө же схемалар пайда болсо, анда ал ар кандай кырсыктарга алып келиши мүмкүн. Салыштырмалуу нымдуулук 50% дат басуу оңой. Мындан тышкары, нымдуулук өтө жогору болгондо, кремний вафрга тийген чаң абадагы суу молекулалары аркылуу сордурулган сордурулган чаңдын бетине сокку болот.
Салыштырмалуу нымдуулук канчалык жогору болсо, аны жоюу кыйыныраак. Бирок, салыштырмалуу нымдуулук 30% дан төмөн болсо, бөлүкчөлөр электростатикалык күчкө байланыштуу иш-аракетинен улам, бети бети-ашка оңой эле адашып, бир топ сегиздиктеги сандагы жарым өткөргүч шаймандар бузулууга дуушар болушат. Силикон вафр өндүрүү үчүн оптималдуу температура диапазону 35-45% түзөт.
Аба басымыбашкаруутаза бөлмөдө
Көпчүлүк таза мейкиндиктер үчүн, ал басып кирбеген тышкы булганышын алдын алуу үчүн тышкы басымга караганда ички басымды (статикалык басым) (статикалык басым) жогору көтөрүү керек. Кысымдын айырмасын күтүү, негизинен, төмөнкү принциптерге ылайык келиши керек:
1. Таза мейкиндиктеги басым таза эмес мейкиндиктерден жогору болушу керек.
2. Тазалыктын деңгээли жогору болгон боштуктардын басымы тазалык деңгээлдеги чектеш мейкиндиктерден жогору болушу керек.
3. Таза бөлмөлөрдүн ортосундагы эшиктер тазалык деңгээли бар бөлмөлөргө ачылышы керек.
Басымдын айырмасын күтүү, бул басымдын айырмачылыгынан боштуктан ажыратуу үчүн абанын агып кетишинин ордун толтура алышы керек болгон таза абанын көлөмүнө жараша болот. Демек, басымдын айырмачылыгынын физикалык мааниси - бул таза бөлмөдөгү ар кандай боштуктар аркылуу агып кетүүнүн (же инфильтрацияланган) аба агымынын туруктуулугу.
Пост убактысы: Jul-21-2023