Айрыкча тумандуу аба ырайынын күчөшү менен айлана-чөйрөнү коргоого көбүрөөк көңүл бурулууда. Таза бөлмө инженериясы айлана-чөйрөнү коргоо чараларынын бири болуп саналат. Айлана-чөйрөнү коргоодо жакшы иш кылуу үчүн таза бөлмө инженериясын кантип колдонсо болот? Келгиле, таза бөлмө инженериясында башкаруу жөнүндө сүйлөшөлү.
Таза бөлмөдө температураны жана нымдуулукту көзөмөлдөө
Таза жайлардын температурасы жана нымдуулугу негизинен процесстин талаптарынын негизинде аныкталат, бирок процесстин талаптарына жооп бергенде адамдын ыңгайлуулугу эске алынышы керек. Абанын тазалыгына талаптардын жакшырышы менен процессте температурага жана нымдуулукка катуу талаптардын тенденциясы байкалууда.
Жалпы принцип катары, кайра иштетүү тактыгынын жогорулашына байланыштуу температуранын өзгөрүү диапазонуна талаптар барган сайын кичирейип баратат. Мисалы, масштабдуу интегралдык микросхемалардын өндүрүшүнүн литографиясы жана экспозиция процессинде маска материалдары катары колдонулган айнек жана кремний пластинкаларынын ортосундагы жылуулук кеңейүү коэффициентинин айырмасы барган сайын аз болуп баратат.
Диаметри 100 μ м болгон кремний пластинкасы температура 1 градуска көтөрүлгөндө 0,24 мкм сызыктуу кеңейүүнү пайда кылат. Ошондуктан, ± 0,1 ℃ туруктуу температура керек жана нымдуулуктун мааниси көбүнчө төмөн, анткени тердегенден кийин продукт булганат, айрыкча натрийден корккон жарым өткөргүч цехтеринде. Семинардын бул түрү 25℃ ашпоого тийиш.
Ашыкча нымдуулук көбүрөөк көйгөйлөрдү жаратат. Салыштырмалуу нымдуулук 55% ашканда муздаткыч суу түтүгүнүн дубалында конденсация пайда болот. Ал тактык түзүлүштөрүндө же схемаларында пайда болсо, ар кандай кырсыктарга алып келиши мүмкүн. Салыштырмалуу нымдуулук 50% болгондо дат басуу оңой. Мындан тышкары, нымдуулук өтө жогору болгондо, кремний пластинкасынын бетине жабышкан чаң абадагы суу молекулалары аркылуу бетине химиялык адсорбцияланат, аны тазалоо кыйын.
Салыштырмалуу нымдуулук канчалык жогору болсо, адгезияны жоюу ошончолук кыйын болот. Бирок салыштырмалуу нымдуулук 30%тен төмөн болгондо бөлүкчөлөр да электростатикалык күчтүн таасиринен жер бетине оңой адсорбцияланат жана көп сандагы жарым өткөргүч түзүлүштөр бузулууга жакын болот. Кремний пластинкасын өндүрүү үчүн оптималдуу температура диапазону 35-45% түзөт.
Аба басымыконтролдоотаза бөлмөдө
Көпчүлүк таза мейкиндиктер үчүн тышкы булганыштын басып киришине жол бербөө үчүн ички басымды (статикалык басымды) тышкы басымдан (статикалык басым) жогору кармап туруу зарыл. басымдын айырмасын сактоо жалпысынан төмөнкү принциптерге ылайык келиши керек:
1. Таза жайлардагы басым таза эмес жайларга караганда жогору болушу керек.
2. Тазалыктын деңгээли жогору жайлардагы басым, тазалыктын деңгээли төмөн чектеш жайларга караганда жогору болушу керек.
3. Таза бөлмөлөрдүн ортосундагы эшиктер тазалык деңгээли жогору бөлмөлөрдү көздөй ачылууга тийиш.
Басым айырмасынын сакталышы таза абанын көлөмүнө жараша болот, бул басым айырмасы астында боштуктан чыккан абанын ордун толтурууга жөндөмдүү болушу керек. Ошентип, басым айырмасынын физикалык мааниси таза бөлмөдө ар кандай боштуктар аркылуу агып чыгуу (же инфильтрация) аба агымынын каршылыгы болуп саналат.
Посттун убактысы: 21-июль-2023