Өрттөн коргоочу жайлар таза бөлмөнүн маанилүү бөлүгү болуп саналат. Анын мааниси анын технологиялык жабдуулары жана курулуш долбоорлору кымбат болгондуктан гана эмес, ошондой эле таза бөлмөлөр салыштырмалуу жабык имараттар болгондуктан жана айрымдары терезесиз устаканалар болгондуктан да маанилүү. Таза бөлмөнүн өтмөктөрү кууш жана ийри-буйру болгондуктан, персоналды эвакуациялоо жана өрттү үйрөтүү кыйын. Адамдардын өмүрүнүн жана мүлкүнүн коопсуздугун камсыз кылуу үчүн, долбоордо "алдын алуу биринчи кезекте, алдын алуу менен өрттү айкалыштыруу" деген өрттөн коргоо саясаты ишке ашырылышы керек. Таза бөлмөнү долбоорлоодо натыйжалуу өрттүн алдын алуу чараларын көрүүдөн тышкары, ошондой эле зарыл болгон өрткө каршы жайлар да орнотулган. Таза бөлмөлөрдүн өндүрүштүк мүнөздөмөлөрү төмөнкүлөр:
(1) Көптөгөн так жабдуулар жана аспаптар бар, ошондой эле ар кандай тез күйүүчү, жарылуучу, коррозиялык жана уулуу газдар жана суюктуктар колдонулат. Айрым өндүрүштүк тетиктердин өрт коркунучу С категориясына кирет (мисалы, кычкылдануу диффузиясы, фотолитография, ион имплантациясы, басып чыгаруу жана таңгактоо ж.б.), ал эми айрымдары А категориясына кирет (мисалы, монокристаллдык тартуу, эпитакси, химиялык буу чөктүрүү ж.б.).
(2) Таза бөлмө абдан аба өткөрбөйт. Өрт чыккандан кийин, кызматкерлерди эвакуациялоо жана өрттү өчүрүү кыйынга турат.
(3) Таза бөлмөнүн курулуш баасы жогору жана жабдуулар жана шаймандар кымбат. Өрт чыккандан кийин экономикалык жоготуулар чоң болот.
Жогорудагы мүнөздөмөлөргө таянып, таза бөлмөлөрдө өрттөн коргоо талаптары өтө жогору. Өрттөн коргоо жана суу менен камсыздоо системасынан тышкары, туруктуу өрт өчүрүүчү түзүлүштөр да орнотулушу керек, айрыкча таза бөлмөдөгү баалуу жабдууларды жана шаймандарды кылдаттык менен аныктоо керек.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 11-апрели