1. Чаң бөлүкчөлөрүн чаңсыз таза бөлмөдө тазалоо
Таза бөлмөнүн негизги милдети азыктар (мисалы, кремний чиптери, ж.б.) дуушар болгон атмосферанын тазалыгын, температурасын жана нымдуулугун көзөмөлдөө болуп саналат, андыктан продукция жакшы чөйрөдө мейкиндикте өндүрүлүп, өндүрүлүшү мүмкүн. Биз бул жерди таза бөлмө деп атайбыз. Эл аралык практикага ылайык, тазалыктын деңгээли негизинен классификациялык стандарттан чоңураак диаметрдеги абанын бир куб метриндеги бөлүкчөлөрдүн саны менен аныкталат. Башкача айтканда, чаңсыз деп аталган нерсе 100% чаңсыз эмес, өтө кичинекей бирдикте башкарылат. Албетте, бул стандарттагы чаң стандартына жооп берген бөлүкчөлөр биз көрүп жаткан кадимки чаңга салыштырмалуу абдан кичинекей, бирок оптикалык структуралар үчүн бир аз чаң да абдан чоң терс таасирин тийгизет, андыктан чаңсыз оптикалык түзүм буюмдарын өндүрүүдө сөзсүз талап кылынат.
Бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү 0,5 микрон/куб метрден 3520/куб.метрден ашкан чаң бөлүкчөлөрүнүн санын көзөмөлдөө чаңсыз эл аралык стандарттын А классына жетет. Чип деңгээлиндеги өндүрүштө жана кайра иштетүүдө колдонулган чаңсыз стандарт А классына караганда чаңга жогорку талаптарга ээ жана мындай жогорку стандарт негизинен кээ бир жогорку деңгээлдеги микросхемаларды өндүрүүдө колдонулат. Чаң бөлүкчөлөрүнүн саны 35,200 куб метрге катуу көзөмөлдөнөт, бул таза бөлмө өнөр жайында B классы катары белгилүү.
2. Таза бөлмө мамлекеттеринин үч түрү
Бош таза бөлмө: курулган жана пайдаланууга берилүүчү таза бөлмө. Анын бардык тиешелүү кызматтары жана функциялары бар. Бирок мекемеде операторлор иштеткен жабдуулар жок.
Статикалык таза бөлмө: толук функциялары, туура орнотуулары жана орнотуулары бар таза бөлмө объекти, аны жөндөөлөргө ылайык колдонууга болот же колдонууда, бирок объектте операторлор жок.
Динамикалык таза бөлмө: толук тейлөө функциялары, жабдуулары жана кызматкерлери бар кадимки колдонуудагы таза бөлмө; зарыл болсо, нормалдуу иш алып барууга болот.
3. Башкаруу элементтери
(1). Абада калкып жүргөн чаң бөлүкчөлөрүн жок кыла алат.
(2). Чаң бөлүкчөлөрүнүн пайда болушун алдын алат.
(3). Температураны жана нымдуулукту көзөмөлдөө.
(4). басымды жөнгө салуу.
(5). Зыяндуу газдарды жок кылуу.
(6). Конструкциялардын жана отсектердин аба өтпөөчүлүгү.
(7). Статикалык электрдин алдын алуу.
(8). Электромагниттик тоскоолдуктарды алдын алуу.
(9). Коопсуздук факторлорун эске алуу.
(10). Энергияны үнөмдөөнү эске алуу.
4. Классификация
Турбуленттүү агымдын түрү
Аба таза бөлмөгө кондиционер кутусунан аба өткөргүчү жана таза бөлмөдөгү аба чыпкасы (HEPA) аркылуу кирет жана таза бөлмөнүн эки тарабындагы дубал панелдеринен же бийик полдордон кайтарылат. Аба агымы сызыктуу кыймылдабайт, бирок туура эмес турбуленттүү же куюлма абалын көрсөтөт. Бул түрү класс 1,000-100,000 таза бөлмө үчүн ылайыктуу болуп саналат.
Аныктама: Аба агымы тегиз эмес ылдамдыкта агып жаткан жана параллелдүү эмес, артка агым же куюлма агым менен коштолгон таза бөлмө.
Принцип: Турбуленттүү таза бөлмөлөр ички абаны үзгүлтүксүз суюлтуу жана тазалыкка жетүү үчүн булганган абаны акырындык менен суюлтуу үчүн аба менен камсыз кылуучу аба агымына таянат (турбуленттүү таза бөлмөлөр жалпысынан 1000ден 300000ге чейинки тазалык деңгээлинде иштелип чыккан).
Өзгөчөлүктөрү: Турбуленттүү таза бөлмөлөр тазалыкка жана тазалык деңгээлине жетүү үчүн бир нече желдетүүгө таянат. Желдетүүнү өзгөртүүнүн саны аныктамадагы тазалоо деңгээлин аныктайт (вентиляция канчалык көп өзгөрсө, тазалык ошончолук жогору болот)
(1) Өзүн-өзү тазалоо убактысы: вентиляциялык номерге ылайык таза бөлмө таза бөлмөгө аба бере баштаган жана бөлмөдөгү чаңдын концентрациясы 1000 класстын тазалыктын 20 мүнөттөн ашык эмес болушу күтүлүүдө (эсептөө үчүн 15 мүнөт пайдаланылышы мүмкүн) 10 000 класстын 30 мүнөттөн ашык эмес болушу күтүлгөн бөлмөдөгү чаңдын концентрациясына жеткен убакытты билдирет. 100,000 40 мүнөттөн ашык эмес болушу күтүлүүдө (эсептөө үчүн 30 мүнөт колдонулушу мүмкүн)
(2) Вентиляциянын жыштыгы (жогоруда көрсөтүлгөн өзүн-өзү тазалоо убактысынын талаптарына ылайык иштелип чыккан) класс 1000: 43,5-55,3 эсе/саат (стандарт: 50 жолу/саат) класс 10,000: 23,8-28,6 эсе/саат (стандарт: 25 жолу/саат) класс 1001,040 эсе, (стандартты: 15 жолу/саат)
Артыкчылыктары: жөнөкөй түзүмү, системанын курулушунун баасы төмөн, таза бөлмөнү кеңейтүү оңой, кээ бир атайын максаттарда, чаңсыз таза отургуч таза бөлмөнүн деңгээлин жогорулатуу үчүн колдонулушу мүмкүн.
Кемчиликтери: турбуленттүүлүктөн улам пайда болгон чаң бөлүкчөлөрү ички мейкиндикте калкып жүрөт жана аларды чыгаруу кыйын, алар процесстик продукцияны оңой булгашат. Мындан тышкары, эгерде система токтоп, анан иштетилсе, анда талап кылынган тазалыкка жетүү үчүн көп убакыт талап кылынат.
Ламинардык агым
Ламинардык агым аба бир калыпта түз сызыкта кыймылдайт. Аба бөлмөгө 100% камтуу ылдамдыгы менен чыпка аркылуу кирет жана бийик пол же эки тараптын бөлүүчү такталар аркылуу кайтарылат. Бул түрү таза бөлмөнүн жогорку класстары, жалпысынан 1 ~ 100 классы бар таза бөлмө чөйрөлөрүндө колдонууга ылайыктуу. эки түрү бар:
(1) Горизонталдуу ламинар агымы: горизонталдуу аба чыпкадан бир багытта үйлөп чыгат жана карама-каршы дубалдагы кайтуу аба системасы менен кайтарылат. Чаң абанын багыты менен сыртка чыгарылат. Негизинен, булгануу агымдын ылдый жагында олуттуураак.
Артыкчылыктары: Жөнөкөй түзүлүш, операциядан кийин кыска убакыттын ичинде туруктуу болуп калышы мүмкүн.
Кемчиликтери: Курулуштун баасы турбуленттүү агымга караганда жогору жана ички мейкиндикти кеңейтүү оңой эмес.
(2) Вертикалдуу ламинардуу агым: бөлмө шыбы толугу менен ULPA чыпкалары менен капталган жана аба жогорудан ылдыйга үйлөп турат, бул тазалыкты жогорулатат. Процесс учурунда же кызматкерлер тарабынан пайда болгон чаң башка жумуш аймактарына таасирин тийгизбестен сыртка тез чыгарылат.
Артыкчылыктары: Башкаруу оңой, стабилдүү абалга операция башталгандан кийин кыска убакыттын ичинде жетишүүгө болот жана операциялык абал же операторлор оңой таасир этпейт.
Кемчиликтери: Курулуштун кымбаттыгы, мейкиндикти ийкемдүү колдонуу кыйын, шып илгичтери көп орун ээлейт жана чыпкаларды оңдоо жана алмаштыруу түйшүктүү.
Композиттик түрү
Курамдуу түрү жергиликтүү ультра таза абаны камсыз кыла ала турган турбуленттүү агымдын түрү менен ламинардуу агымдын түрүн айкалыштыруу же колдонуу.
(1) Таза туннель: Тазалык деңгээлин 10-класстан жогору көтөрүү үчүн процесстик аймактын же жумуш аянтынын 100% жабуу үчүн HEPA же ULPA чыпкаларын колдонуңуз, бул орнотуу жана эксплуатациялоо чыгымдарын үнөмдөйт.
Бул түрү машинаны тейлөө учурунда жумушка жана сапатка таасирин тийгизбөө үчүн, оператордун иш аймагын продукт жана машинаны тейлөөдөн обочолонушун талап кылат.
Таза туннелдердин дагы эки артыкчылыгы бар: A. Ийкемдүү кеңейтүү оңой; B. Тейлөө чөйрөсүндө жабдууларды тейлөө оңой аткарылышы мүмкүн.
(2) Таза түтүк: Продукт агымы өткөн автоматтык өндүрүш линиясын курчап, тазалап, тазалык деңгээлин 100 класстан жогору көтөрүңүз. Продукт, оператор жана чаң чыгаруучу чөйрө бири-биринен обочолонгондуктан, аз өлчөмдөгү аба менен камсыздоо жакшы тазалыкка жетише алат, бул энергияны үнөмдөйт жана кол эмгегин талап кылбаган автоматташтырылган өндүрүш линияларына эң ылайыктуу. Бул фармацевтика, тамак-аш жана жарым өткөргүч өнөр жайы үчүн колдонулат.
(3) Таза так: 10,000 ~ 100,000 таза бөлмө деңгээли менен турбуленттүү таза бөлмөдөгү продукт процессинин аянтынын тазалык деңгээли өндүрүштүк максаттар үчүн 10 ~ 1000 же андан жогору көтөрүлөт; таза станоктор, таза бастырмалар, курама таза бөлмөлөр, таза шкафтар ушул категорияга кирет.
Таза отургуч: класс 1 ~ 100.
Таза кабина: Турбуленттүү таза бөлмө мейкиндигинде антистатикалык тунук пластикалык кездеме менен курчалган кичинекей мейкиндик, көз карандысыз HEPA же ULPA жана кондиционерлерди колдонуп, деңгээли 10 ~ 1000, бийиктиги болжол менен 2,5 метр жана камтуу аянты болжол менен 10 м2 же андан азыраак. Анын төрт түркүгү бар жана ийкемдүү колдонуу үчүн кыймылдуу дөңгөлөктөр менен жабдылган.
5. Аба агымы
Аба агымынын мааниси
Таза бөлмөнүн тазалыгына көбүнчө аба агымы таасир этет. Башкача айтканда, адамдар тарабынан пайда болгон чаңдын кыймылы жана таралышы, машина отсектери, курулуш конструкциялары жана башкалар аба агымы менен башкарылат.
Таза бөлмө абаны чыпкалоо үчүн HEPA жана ULPA колдонот жана анын чаң чогултуу ылдамдыгы 99,97~99,99995% түзөт, ошондуктан бул чыпка менен чыпкаланган аба абдан таза деп айтууга болот. Бирок, адамдардан тышкары, таза бөлмөдө машиналар сыяктуу чаң булактары да бар. Бул пайда болгон чаңдар жайылып кеткенден кийин, таза мейкиндикти сактоо мүмкүн эмес, андыктан пайда болгон чаңды сыртка тез чыгаруу үчүн аба агымын колдонуу керек.
Таасир кылуучу факторлор
Таза бөлмөнүн аба агымына таасир этүүчү көптөгөн факторлор бар, мисалы, технологиялык жабдуулар, персонал, таза бөлмө монтаждоочу материалдар, жарык берүүчү приборлор ж.
Жалпы операциялык үстөлдүн же өндүрүштүк жабдуулардын бетиндеги аба агымынын бурула турган жери таза бөлмөнүн мейкиндиги менен бөлүүчү тактанын ортосундагы аралыктын 2/3 бөлүгүндө белгилениши керек. Мына ушундай жол менен, оператор иштеп жатканда, аба агымы технологиялык аймактын ичинен операциялык аймакка агып, чаңды алып кете алат; эгерде бурмалоо пункту процесстик аймактын алдында конфигурацияланса, анда ал аба агымынын туура эмес диверсиясына айланат. Бул учурда аба агымынын басымдуу бөлүгү технологиялык аянттын арткы тарабына агып, оператордун иштөөсүнөн улам пайда болгон чаң жабдуулардын арткы тарабына ташылып, стенд булганып, түшүм сөзсүз төмөндөйт.
Таза бөлмөлөрдөгү иш үстөлдөрү сыяктуу тоскоолдуктардын кесилишинде куюлма агымдар болот жана алардын жанында тазалык салыштырмалуу начар болот. Иш үстөлүнө кайра аба тешигин бургулоо куюлган токтун көрүнүшүн азайтат; монтаждоо материалдарын тандоо ылайыктуубу жана жабдуулардын схемасы кемчиликсизби, ошондой эле аба агымынын куюлма агымдын көрүнүшүнө айланышы үчүн маанилүү факторлор болуп саналат.
6. Таза бөлмөнүн курамы
Таза бөлмөнүн курамы төмөнкү системалардан турат (алардын бири да системанын молекулаларында алмаштырылбайт), антпесе толук жана сапаттуу таза бөлмөнү түзүү мүмкүн эмес:
(1) шып системасы: анын ичинде шып таяк, I-нур же U-усту, шып тор же шып кадр.
(2) Кондиционер системасы: анын ичинде аба кабинасы, чыпкасы системасы, шамал тегирмени, ж.б.
(3) Бөлмө дубал: анын ичинде терезелер жана эшиктер.
(4) Кабат: анын ичинде бийик пол же антистатикалык пол.
(5) Жарык берүүчү приборлор: LED тазалоо жалпак чырак.
Таза бөлмөнүн негизги конструкциясы жалпысынан темир тордон же сөөк цементтен жасалат, бирок кандай түзүлүш болбосун, ал төмөнкү шарттарга жооп бериши керек:
A. Температуранын өзгөрүшүнөн жана титирөөдөн жаракалар пайда болбойт;
B. Чаң бөлүкчөлөрүн өндүрүү оңой эмес, ал эми бөлүкчөлөрдүн тиркелиши кыйын;
C. Төмөн гигроскопиялык;
D. таза бөлмөдө нымдуулук шарттарын сактоо үчүн, жылуулук жылуулоо жогорку болушу керек;
7. Колдонуу боюнча классификация
Өнөр жай таза бөлмө
жансыз бөлүкчөлөрдү башкаруу объект болуп саналат. Ал, негизинен, аба чаң бөлүкчөлөрүнүн жумушчу объектке булганышын көзөмөлдөйт, ал эми ички жалпысынан оң басым абалын сактайт. Бул так машиналар өнөр жайы, электроника өнөр жайы (жарым өткөргүчтөр, интегралдык схемалар, ж.б.), аэрокосмостук өнөр жайы, жогорку таза химиялык өнөр жайы, атомдук энергия өнөр жайы, оптикалык жана магниттик продукт өнөр жайы (CD, кино, лента өндүрүү) LCD (суюк кристалл айнек), компьютердик катуу диск, компьютер башын өндүрүү жана башка тармактарга ылайыктуу.
Биологиялык таза бөлмө
Негизинен тирүү бөлүкчөлөрдүн (бактериялардын) жана жансыз бөлүкчөлөрдүн (чаң) жумушчу объектинин булганышын көзөмөлдөйт. Бул бөлүүгө болот;
А. Жалпы биологиялык таза бөлмө: негизинен микробдук (бактериалдык) объекттердин булганышын көзөмөлдөйт. Ошол эле учурда, анын ички материалдары ар кандай стерилдөөчү агенттердин эрозиясына туруштук бере алышы керек, ал эми ички бөлүгү жалпысынан оң басымды камсыз кылат. Негизинен, ички материалдар өнөр жай таза бөлмөнүн ар кандай стерилдөө дарылоо туруштук бере алышы керек. Мисалдар: фармацевтика өнөр жайы, ооруканалар (операция бөлмөлөрү, стерилдүү палаталар), тамак-аш, косметика, суусундуктарды өндүрүү, жаныбарлар лабораториялары, физикалык жана химиялык сыноо лабораториялары, кан станциялары ж.б.
B. Биологиялык коопсуздук таза бөлмө: негизинен тышкы дүйнөгө жана адамдарга жумушчу объектинин тирүү бөлүкчөлөрүнүн булганышын көзөмөлдөйт. Ички басым атмосфера менен терс болушу керек. Мисалдар: бактериология, биология, таза лабораториялар, физикалык инженерия (рекомбинантты гендер, вакциналарды даярдоо)
Посттун убактысы: Feb-07-2025